信息摘要:
潔凈室的發展與現代工業、尖端技術密切聯系在一起。由于精密機械工業(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(如大規模集成電路生產)等對環境的要求,促進了潔凈室技術的發展。
潔凈室的發展與現代工業、尖端技術密切聯系在一起。由于精密機械工業(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(如大規模集成電路生產)等對環境的要求,促進了潔凈室技術的發展。國內曾統計過,在無潔凈級別的要求的環境下生產MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業中應用潔凈室已相當普遍。